程 洁
机械电子工程系,教授/博士生导师,教工机械系党支部书记
邮箱:jiecheng@cumtb.edu.cn 办公地址:海淀区学院路丁11号机电楼109
教 育 背 景
2011.09-2016.06 清华大学攻读博士学位-机械工程专业
2007.09-2011.06 山东大学攻读学士学位-机械工程专业
工 作 履 历
时段-职称/职务
2020.07至今 英国上市公司官网365英国上市公司官网365工程学院,教授/博士生导师
2019.10–2020.07 北京理工大学,机械与车辆学院,助理教授/副研究员
2016.09–2019.09 清华大学,摩擦学国家重点实验室,博士后
访问学者经历
2018.06–2019.09 瑞典皇家理工KTH,表面与腐蚀科学研究所,博士后
个人主页
https://www.researchgate.net/profile/Jie-Cheng-9
https://scholar.google.com/citations?hl=zh-TW&user=IuHOLo0AAAAJ
人才培养情况
博士研究生(在读)4人,硕士研究生(在读)13人
研 究 领 域
学科:机械工程-机械制造
研究方向:电子制造摩擦学;化学机械抛光(CMP)技术
研 究 概 况
研究项目:
国家级项目:
1. 国家自然科学基金项目,xxxx新型钌金属栅的化学机械抛光机理研究;
2. 国家自然科学基金青年项目,xxxx亚14 nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究
省部级项目:
1. 北京市自然科学基金项目,xxxx使用局部钴互连技术的化学机械抛光(CMP)机理研究;
2. 中国科协青年人才托举工程项目,新型钴互连的无籽晶电镀(ECP)及其化学机械抛光(CMP)的基础研究
3. 中国博士后科学基金特别资助,柔性纳米磨粒的制备及在xxxx化学机械抛光中的应用
4. 中国博士后科学基金面上项目,稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用
科研平台:
煤矿智能化与机器人创新应用应急管理部重点实验室
产业转化项目:
[1] 河南航天精工制造有限公司委托横向,钛合金紧固件摩擦磨损特性及损伤机理研究,2023-2024.
研 究 成 果
代表性论文:
[1]Yan Meng, Luo Yue, Xiangli Wen, Peng Wei, Xue Zhou, Jie Cheng*, Pengpeng Bai, Qian Zhao, Yonggang Meng, Yu Tian*, The influence of polydiethylsiloxane (PDES) concentration on the tribofilm of chlorophenyl silicone oil (CPS0) under high-temperature lubrication, Journal of Materials Research and Technology, 29 (2024), 1557-1564
[2]程洁,孟延,苗钦华,葛世荣*,电子制造摩擦学,摩擦学学报,43,2023,833-854. (主编特邀综述)
[3]Shuo Gao, Qinhua Miao, Boyu Wen and Jie Cheng*. A Fem Model of Micro-Galvanic Corrosion Evolution at RU/CU Interface in H2O2 CMP Solution, 2023 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Shanghai, China, IEEE, 2023, pp. 1-5, doi: 10.1109/CSTIC58779.2023.10219314.
[4]Lei Fan, Chun Hu, Neng Yang, Fan Xingshuai, Jie Cheng* and Xiangming Li, Gradient-distributed ZTAp-VCp/Fe45 as new anti-wear composite material and its bonding properties during composite casting, Science and Engineering of Composite Materials, 30 (2023), 20220200.
[5]潘盈卓,白鹏鹏,刘明辉,马楷,曹辉,程洁*,孟永钢,田煜*,高温控油润滑条件下Si3N4陶瓷与M50钢的摩擦学行为研究,摩擦学学报,2023,DOI: 10.16078/j.tribology.2022246.
[6]Jie Cheng*, Nanxuan Mei, Sulin Chen, Pengpeng Bai, Bin Shen, Jinshan Pan and Fan Zhang, Interactions in Composite Film Formation of Mefp-1/graphene on Carbon Steel, Coatings 11 (2021), 1161.
[7]Jie Cheng, Sulin Chen, Fan Zhang, Bin Shen, Xinchun Lu* and Jinshan Pan, Corrosion- and Wear-Resistant Composite Film of Graphene and Mussel Adhesive Proteins on Carbon Steel, Corrosion Science 164 (2020), 108351.
[8] Jie Cheng, Shuo Huang, Yang Li, Tongqing Wang, Lile Xie, and Xinchun Lu*. RE (La, Nd and Yb) doped CeO2 Abrasive Particles for Chemical Mechanical Polishing of Dielectric Materials: Experimental and Computational Analysis, Applied Surface Science 506 (2020), 144668.
[9]Jie Cheng, Shuo Huang and Xinchun Lu*. Preparation of Surface Modified Ceria Nanoparticles as Abrasives for the Application of Chemical Mechanical Polishing (CMP), ECS Journal of Solid State Science and Technology 9 (2020), 024015.
专利:
[1] 程洁,李杨,路新春. 一种镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用,中国:201810440980.5
专著:
[1] Jie Cheng, Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect, Springer, 2018 (Recognizing Outstanding Ph.D. Research)
教材:
[1] 林福严,程洁,张运九,《摩擦学简明教程》,机械工业出版社,2022
荣 誉 奖 励
2022 中国科协第七届“青年人才托举工程”
2018 青年工程师奖(Young Engineer Award),2018中国国际半导体技术大会,中国上海
2016 最佳学生奖(Best Student Award),2016中国国际半导体技术大会,中国上海
2016 优秀博士研究成果(Recognizing Outstanding Ph.D. Research),德国Springer出版社
2016 清华大学优秀博士学位论文
2016 北京市优秀毕业生
2014 青年学者奖(Young Researcher Award),2014国际化学机械抛光/平坦化大会,日本神户
2023 北京市优秀本科毕业论文指导教师
2022、2021 英国上市公司官网365优秀本科毕业论文指导教师
科 研 方 向(本人正在从事的科研情况与未来5年内发展方向,200字以内)
致力于半导体化学机械抛光(CMP)技术、电子制造摩擦学的相关研究,主要研究方向包括:1)先进制程下的CMP机理及工艺研发;2)煤电子材料超精密制造方法;3)腐蚀磨损机理及防护策略。